二手 ULVAC SMD-450 #9269729 待售

ULVAC SMD-450是一种设计用于薄膜沉积过程的高度先进的溅射设备。由于其许多先进的功能和组件,它能够以非常高效的方式生产各种薄膜。该系统采用超高真空室，能够保持高达10-5 Pa的压力水平，从而实现高达1.5 nm/s的溅射速率。SMD-450是一个双级模块化单元，允许用户组合不同的溅射源（包括直流、脉冲和过滤过的阴极电弧源），以达到理想的效果。该机器能够溅射低至高粘度材料，包括无定形和多晶金属、陶瓷、复合材料和介电材料。它还能够溅射化合物，这在许多薄膜太阳能电池应用中尤为重要。该工具的设计使得不同化合物的溅射可以在单个运行中实现，从而实现了很高的工艺效率。此外，资产具有优异的底物偏差、射频、等离子体清洗能力。这可以让用户获得质量更好、表面形态更紧密、密度更高的薄膜。薄膜的均匀性也通过其ECR（诱导电弧放电）源技术得到增强，这有助于查明发生溅射的底物区域，从而确保均匀和均匀的沉积特性。高达8 nm/min的致密沉积速率，加上沉积多种材料的能力，使得ULVAC SMD-450薄膜制造的一个有价值的工具。该模型的灵活性、质量和整体效率使其非常适合用于电子应用,如硬盘和隧道磁阻（TMR）头生产,以及光学应用,如抗反射（ARD）和透明传导氧化物（TCO）生产。而且，它的高吞吐量和高粘度工艺兼容性意味着它可以用于数字镜像设备（DMD）的生产。