二手 ULVAC SMD-450 #9269730 待售

ULVAC SMD-450是一种直流磁控管或二极管溅射设备，设计用于薄膜在一系列基材上的气相沉积。这种设备能够提供低沉积率和高沉积率以及高厚度分辨率。溅射系统用于半导体、MEMS和光学器件制造工业的生产过程。SMD-450提供高性能75毫米溅射室,总尺寸为630mm x 725mm x 1035mm。它设计可容纳高达450mm的晶片，并有一个350 mm x 350 mm的旋转转盘，用于在晶片表面均匀沉积薄膜。该系统配备了三磁控极化溅射配置，用于均匀的厚度控制。为确保运行可靠，机组配备了13.56MHz射频电源和温度控制器。此外，ULVAC SMD-450包括一个通用真空源，用于高度统一和高效的操作。为控制SMD-450，该机配备了高科技触摸屏界面。用户可以快速、轻松地对溅射功率、沉积时间等工具参数进行编程，以满足他们的需求。该资产还拥有一个直观和用户友好的软件，以简化操作程序。总体而言,ULVAC SMD-450是生产高质量薄膜的完美解决方桉,适用于各种应用。它提供了多功能性、性能和可靠性的完美组合,以实现高效的操作。凭借直观的软件和触摸屏界面，用户可以快速、轻松地对模型进行编程，以满足他们的应用需求。这为用户提供了为广泛应用生产高质量薄膜所需的灵活性和精确度。