二手 ULVAC SMD-450 #9269732 待售
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ID: 9269732
Sputtering system
Turbopump
Flange
Place machine
Robot controller
(3) Baby frames
(5) Frames
Rotary pump
UPS
Circulating water unit.
ULVAC SMD-450溅射设备是一种全自动的高性能沉积系统。该单元是一个磁控管为基础,单室,台式机器,设计用于薄膜真空沉积到基材。该工具的先进设计允许精确控制沉积过程的参数,使用户能够沉积具有出色均匀性、出色附着力和最小基板加热的薄膜。SMD-450溅射资产具有先进的真空技术,以及用于精确控制沉积过程的强大电子设备。该模型包括集成的交流磁控管和直流磁控管溅射阴极、真空涡轮分子泵,以及能够达到1000瓦输出功率的大功率射频发电机。该设备还配备了数字用户界面,便于访问和实时监测沉积参数。系统的交流磁控管电源提供高功率、高频输出,可以调整以改变沉积速率。该单元还设有弧滤机、可变气体喷射工具和石英锁定定位器,所有这些都有助于确保最高精度和可重复性。ULVAC SMD-450 Sputtering Asset可用于沉积各种具有出色均匀性和附着力的薄膜,包括金属、氧化物、氮化物和碳化物。该模型的高性能溅射阴极可实现精确的逐层沉积,以及较厚层的快速沉积。该设备还能够进行反应性离子蚀刻和离子束辅助沉积,以提高质量和精度。总体而言,SMD-450溅射系统是一种用于高质量、可重复薄膜沉积的强大、准确、可靠的沉积单元。其先进的设计和特点使用户能够以最小的基板加热和优异的均匀性和附着力达到精确的沉积效果。有了这台机器,厂商可以生产出高耐用可靠的薄膜,用于多种应用,如半导体和介电膜、光学反射膜、电镀薄膜等。
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