二手 ULVAC SMD-450 #9269735 待售

ULVAC SMD-450是ULVAC制造的高性能溅射设备。它具有先进的全自动沉积工艺，能够对各种材料进行高质量、可重复的薄膜沉积。该系统设计为与各种真空室配置兼容，并具有用户友好的操作界面。SMD-450具有强大的源设计，能够实现高溅射功率和沉积速率。它具有450升的加工室容积，最大沉积速率高达4nm/s。该单元包括一个带有加热卡盘的旋转基板支架，允许样品旋转速度高达300 RPM。它可以容纳直径不超过200毫米的基板，沉积目标尺寸可以定制以适合各种形状和尺寸。ULVAC SMD-450配备了受保护的溅射源，在所有基板上提供均匀且可重复的溅射沉积物。该机还提供了几种内置的过程控制功能，包括红外热力计、加热器的精确温度监测和控制，以及用于基板放置的高速重定位器。此外，该工具有一个集成的机器人手臂，使其易于管理，加载和卸载基板的飞行。SMD-450是无接触溅射资产，能够沉积诸如氮化硅、氧化铝和钛等材料。该模型是在不同基板和组件上生产厚度样式均匀的薄膜的可靠且经济高效的替代品。ULVAC SMD-450是先进薄膜工艺研发的绝佳工具。