二手 ULVAC SMD-450 #9269742 待售

ULVAC SMD-450溅射设备是一种用于将薄膜沉积在晶片和基板上的最先进的工具。该溅射系统集成了最新的高能均匀溅射技术，是研究和工业应用的理想选择。SMD-450配有两个阴极，能够同时在样品上沉积两个独立的层。它具有两级线性源结构，最大程度的离子轰击，增加均匀性，减少离子通道。这个高级单元也可以配置任何目标材料，如金属、氧化物、氮化物、半导体等。在传统的磁控管和惰性气体溅射中，底物温度不受控制。这会在样品的不同部分上造成不同的薄膜厚度。ULVAC SMD-450具有先进的温度控制基板支架,使用户能够将基板温度控制在400 °C以下。这消除了热漂移造成的不均匀性。SMD-450还具有紧凑的占地面积,旨在高效利用空间。它总共有四个舱室，最多可容纳10个目标，而它的大容量目标端口使快速装载操作成为可能。为了减少维护时间和成本,它配备了一个两级闭环冷却机来捕获水和灰尘。这种溅射工具支持多种高精度的等离子体控制系统，提供均匀甚至溅射的轮廓。它还对占空比、压力、气流等参数提供了高度的工艺控制。这种工具可以处理各种样品和基板，包括形状不规则的物品和截面，以及小规模的装置和结构。先进的ULVAC SMD-450溅射资产可提供无与伦比的控制、可靠性、统一性和工作效率。它是在多种底物和样品上生产薄膜层的理想选择。