二手 ULVAC SMD-450 #9411767 待售
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ULVAC SMD-450是一种用于将薄膜沉积到各种基板上的溅射设备。它是一个具有多个溅射源和材料的先进系统，非常适合制造光学或电气结构和设备等应用。SMD-450是一种单室双磁控管溅射装置，按小尺寸规格制造，但包含高效和有效溅射所需的所有部件。该机利用大型磁控管线圈，与广谱的靶材一起，产生强大的氙离子通量，允许生产附着力极好的高纯度薄膜。ULVAC SMD-450可以容纳直径不超过200毫米的基材和任何厚度和材料的基材,包括塑料、陶瓷、玻璃和金属箔。它在7.5x 10-5 Torr的最大工作压力下运行，可以达到高达1000 ℃的基材温度。溅射源包含两个独立密封的阴极，每个阴极都有自己的磁控管线圈。第一种来源用于透明导电氧化物（TCOs）和其他溅射材料，第二种来源用于不锈钢、铝、钴等金属层。总输出功率可达2.5 kW，允许快速高效的沉积。此外，SMD-450的室内环境可以用原位大气测试仪精确控制。这使得该工具适合在低温蒸发和氧化条件下沉积各层材料，从而对薄膜质量进行更大的控制。资产还提供了广泛的过程特征，以加强沉积过程。这些特征包括可调掺杂、定向脉冲沉积和多步沉积。此外，自动化的过程控制使沉积变得容易和准确，提供了高重复性和一致的薄膜沉积。总之，ULVAC SMD-450溅射模型是各种基板上高速清洁均匀沉积薄膜的理想解决方桉。该设备提供了对薄膜参数的精确控制，同时还使各种不同的材料能够被溅射。该系统是光学、电子和自动化领域各种应用的宝贵工具。
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