二手 ULVAC SMD-450 #9412542 待售
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ULVAC SMD-450是一种用途广泛、功能强大的工业溅射系统。利用超高真空技术将各种材料的薄膜沉积在形状和尺寸各异的物品上。该系统能够沉积金属、氧化物、氮化物和非晶硅等多种材料。因此，它对光电、微结构和纳米技术等领域的研究很有用。机器由两个基本部分组成；腔室和排气装置。腔室部分包括采样加热/冷却后盖、250毫米前盖、真空通风阀、气体入口/出口和真空泵管路。加工室由一个疏散的不锈钢圆筒组成。该腔室在压力和温度方面提供高度均匀性，促进均匀溅射。腔室能够接受直径可达200毫米、厚度可达50毫米的样品。排气单元由负载锁定系统、真空泵、排气管和可变磁场组成。它允许在真空和大气环境之间快速的物质转移，而不会损害主室内的大气层。负载锁定能够快速高效地交换样本。真空泵负责在腔室中提供高度真空，并在整个过程中保持。可变磁场允许操纵目标离子束的入射角，从而控制溅射膜的均匀性。此外，SMD-450还配备了目标电源、射频匹配网络、射频发电机和高压电源。目标电源将直流电源应用于目标材料,允许量身定制的溅射沉积。射频匹配网络在目标材料和等离子体之间提供阻抗匹配。射频发生器产生的高频功率使气体分子通电，导致一个自我维持的等离子体放电。最后，高压电源负责产生施加在基板上的偏压，从而控制膜的厚度和均匀性。ULVAC SMD-450旨在为工业应用提供一致和可靠的溅射沉积。高效，是材料工程和纳米技术研究的理想选择。
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