二手 ULVAC SMD-450B #9212812 待售
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ULVAC SMD-450B是用于半导体和电子工业薄膜沉积的先进溅射设备。该系统采用多沉积/加工室,设计用于薄膜沉积在从陶瓷到金属和玻璃基板的各种基板材料上。SMD-450B具有集成的多管磁控管溅射装置,最多可使用八个磁控管溅射源。元素纯溅射材料可通过本机应用于基板,实现精密高效的薄膜涂层。溅射源能够处理种类最多的材料,包括稀土元素、贵金属和复合金属。该工具还具有气体输送资产,用于向沉积室输送反应性气体。这使得氧化物、氮化物和其他类似薄膜得以生长。ULVAC SMD-450B利用能够达到低至3x10-3 Pa的压力的真空室,以确保均匀光滑的涂层过程。它还具有一个具有直观用户界面的控制器,允许过程参数跟踪和自动配方控制。该型号配备了一个装卸站,允许安装、服务和维护基板而无需打破真空。它还包括一个Automation Ready选项,与ULVAC Smart Factory Suite兼容,允许批量生产。这使设备能够与其他组件共享数据并由单个接口进行管理,从而可以轻松地将多个ULVAC设备集成到单个工作流中。总体而言,SMD-450B溅射设备是多层薄膜沉积的有力工具。它结合了精确的溅射源、精密的气体输送系统、低压真空室以及直观的用户界面,使其成为精密高效涂膜的绝佳选择。
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