二手 ULVAC SMD-750 #9213455 待售

ULVAC SMD-750溅射设备是一种通用、用户友好的溅射系统，用于将薄膜沉积在各种类型的基板上。它旨在为半导体器件、平板显示器、光电等广泛应用提供最优质的薄膜。该单元由真空室、加工室和控制机组成。真空室设有自动粗加工和微调真空工艺。这是用来达到5 x 10-8 Pa的预定基压，这是最佳膜沉积所必需的。对控制工具进行了编程，以监测和调节工作室内的压力，以达到最佳的薄膜沉积。该工艺室采用不锈钢涂层表面建造，以确保清洁环境，使材料最佳溅射。该室最多装有八个独立的溅射源，允许同时沉积多个目标和材料。ULVAC SMD 750能够处理广泛的目标材料，如金属、介电、陶瓷和半导体，以及材料的组合。SMD-750具有闭环过程控制资产,可精确控制基板位置、气流和温度。这保证了薄膜厚度和组成均匀。该模型还采用了一种自动防腐设备，为长期生产保持最佳工艺参数。SMD 750是一种可靠、用途广泛的溅射系统，可用于沉积厚度和组成均匀的金属、介电、陶瓷和半导体材料薄膜。该机组配备了自动粗加工和微调真空工艺以及用于精确控制基板定位、气流和温度的闭环过程控制机。该工具的防腐资产确保了长期运行，使其成为各种薄膜沉积应用的理想选择。