二手 ULVAC SMD-850BX #9285746 待售

ULVAC SMD-850BX Sputtering Equipment是一种多功能、高性能的系统,旨在为金属、合金、介电和陶瓷材料的薄膜提供均匀光滑的溅射沉积。该装置利用真空室和各种等离子体诱导的过程将薄膜沉积到运动的基板上。SMD-850BX利用行星基板支架，提供定制的溅射目标或圆形磁控管装置，将材料从目标表面溅射到基板上。它旨在实现高精度和可重复的过程，通过ULVAC创新的等离子体控制技术提供可靠和均匀的沉积。该机配备了高性能离子源，以实现离子辅助蚀刻和清洁过程，还拥有先进的气体控制技术，在各种处理过程中保持所需的等离子体化学状态。ULVAC SMD-850BX提供各种尺寸和形状的工件供其行星基板持有者处理，其设计能够实现稳定沉积和蚀刻。该溅射装置采用先进的四轴电磁运动控制工具，提供精确均匀的溅射沉积，同时提供精确的温度控制。SMD-850BX模型通过内置控制器提供强大的均匀性控制,以及前馈和反馈控制。此外，设备的基板偏置电压供应允许在沉积过程中对离子注入进行精确控制。ULVAC SMD-850BX还提供先进的等离子体分析，对溅射过程进行彻底和实时的监测，并提供整合多个过程室的能力。这种溅射系统可以容纳各种各样的气体和种类的材料，可以选择多种配置来满足各种溅射需要。该装置在1E-4 Pa至1E-6 Pa的真空范围内运行，可用于金属、合金、陶瓷和介电材料等材料的沉积。SMD-850BX是涂层玻璃薄膜、光学薄膜、太阳能电池、液晶显示器、电路板以及各种其他产品和应用的理想溅射溶液。