二手 ULVAC SMD-850BX3 #9285784 待售

ULVAC SMD-850BX3溅射设备是通过用金属、陶瓷、半导体、电介质等多种材料涂覆基板来创建薄膜层的先进方法。其高级功能包括超短脉冲直流（Direct Current）磁控管溅射源、开载关闭系统和可选的自动配方模式。该装置具有较高的均匀性和沉积率，非常适合大批量生产各行业使用的薄膜层。SMD-850BX3的载荷容量可达直径5英寸,厚度可达5英寸,真空温度为5x10-6Pa,最高温度为150 °C。该机利用两个独立的溅射源，使其能够在一个基板上创建两层不同的薄膜。它的其他特点包括多层沉积，能够同时溅射两种不同的材料，以及厚度或颗粒没有变化的均匀沉积的薄膜层。ULVAC SMD-850BX3溅射工具配备了一个紧凑的涡轮分子泵，允许高速抽水快速疏散和高气压。它还提供了一种开放式负载关闭资产，当腔室压力过低时自动关闭模型，防止由于不平衡压力造成损坏。此外，该设备还具有可选的自动配方模式，可以对其进行编程，以自动设置特定沉积过程所需的条件。SMD-850BX3是一个可靠和经济高效的溅射系统，为广泛的应用提供了极好的均匀性和沉积率。其直观的操作单元使用方便，既适合小规模实验室，又适合工业生产。此外,其先进的特性和功能确保基板始终涂有适当的材料,从而提供一致的薄膜层。