二手 ULVAC SME-200 #293637655 待售

ULVAC SME-200溅射设备设计用于将金属薄膜或其他材料沉积到基板上。该溅射系统利用磁控管溅射技术，利用不平衡电压使目标材料的带电粒子高速轰击基板。这种轰击使材料汽化，然后以薄膜的形式沉积在基板上。ULVAC SME 200溅射装置具有较高的沉积速率、优异的均匀性和较高的阶梯覆盖范围。它能够处理2"、3"或4"晶片，以及其他不同尺寸、形状和温度的基板。该机还支持多种目标材料，使其能够沉积多种由各种材料制成的薄膜。此外，它还可以被编程成具有可选厚度和面积的涂层，从而实现高水平的均匀性。SME-200具有一个单一的负载锁密室和一个单独的抽水工具，这使得资产能够很容易地将层沉积到各种基板上，且交叉污染最小。此外，内置供气室使各种气体组合物能够用于最佳的膜沉积。此外,两个外部6英寸高泵浦交流驱动磁控管允许此模型沉积多层薄膜,如屏障层和其他需要特殊特性和特性的层。该设备非常适合各种应用，包括表面涂层和先进的薄膜开发。其高功率、先进的控制和监控系统以及精确的沉积能力，使得中小企业200成为工业、研发环境的绝佳选择。此外,它还得到ULVAC质量支持和专业知识的支持,使其成为那些希望沉积精确高度和均匀性的薄膜的人的绝佳选择。