二手 ULVAC SME-200 #9156855 待售

ULVAC SME-200是一种磁控管溅射设备。它是用于将特定材料的薄膜沉积到表面上的先进系统。它是一个自动化单元，允许可重复薄膜沉积，具有可调参数，允许广泛的沉积质量和薄膜特性。ULVAC SME 200机器由一个低真空室、两个独立的溅射源、一个电子束源、一个射频涂层和一个旋转目标源组成。利用适用的源，室内的基板暴露于溅射目标的电离气体粒子、电子或射频波。来自这些源的离子、电子或射频波撞击，并将分子从靶上移出，然后附着在底物上，形成所需的薄膜。SME-200工具可以处理两种不同尺寸的基板，从而提高生产效率。两个溅射源的功率预算均为2kW，并配备了聚焦磁控管，以实现更高的精度和溅射深度和均匀性的重复性。基板支架可以支撑具有各种尺寸/类型的基板的单面和双面晶片，包括玻璃、石英、硅、铝和金属。该室还具有可变压力资产、涡轮泵和冷冻泵，允许控制大气和真空水平进行沉积，从而可以更精确地控制沉积过程。SME 200配备了众多型号传感器，能够实时监测所有工艺参数和气流。设备的软件允许在沉积过程中对所有参数进行远程操作,并允许对沉积过程进行完全控制。由于该系统的先进设计和可调参数，该装置可用于存放各种不同材料和性能的薄膜，使其成为一种非常通用的溅射机，适用于各种应用。