二手 ULVAC SME-200 #9293517 待售

ULVAC SME-200溅射设备设计用于高性能薄膜沉积应用,具有业界领先的低拥有成本。它提供了低真空、快速溅射的过程，具有出色的均匀性、重复性和可控性。ULVAC SME 200配备了两个独立的目标持有者，其中一个是带有PBN（热解氮化硼）电介质的溅射目标。这使系统能够同时沉积金属膜和介电膜。电介质具有极低的溅射产率，最大程度地降低了将颗粒溅射到先前薄膜层上的风险。此外，这两个目标可以同时用于在单个操作中沉积金属和电介质，或者交替用于增加沉积速度。SME-200还设有一个锁载室和一个加热的基板支架，最多可容纳四个4英寸晶圆样品。这允许在真空下快速装卸样品。加热器的温度范围为0°C至400°C,非常适合晶圆的热处理。该装置具有较高的沉积速率和可重复配方沉积过程控制能力。它还配备了一个QMS-200（质量监测机），自动监控目标条件，并提供数据记录和质量控制功能。SME 200是一种功能强大的溅射工具，可以处理从保护层、屏障层到平面化层的广泛应用。ULVAC还提供了SME系列中的一些其他溅射资产模型，以满足各种溅射要求。