二手 ULVAC SME-200E #9204276 待售
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ID: 9204276
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8"
Included:
(2) Chambers
6" Tray & jig
High temperature deposition: Maximum 700° C
(2) Targets.
ULVAC SME-200E是一种溅射设备,用于将材料的薄膜层沉积到基板上。该溅射系统采用三磁控管设计,提高了沉积精度和厚度均匀的薄膜沉积。它允许精确调整功率水平,并有一个独立的监控单元来确认溅射过程的有效性。控制器设计简单直观,可以方便地针对不同的溅射沉积模式进行编程。这种溅射机具有独特的减压控制工具,允许均匀的压力和优良的等离子生成条件。减压控制资产还保证了溅射过程的均匀性,减少了溅射过程的变化,提高了膜的均匀性。SME-200E允许以各种组合的形式沉积薄膜,包括单个或多个元素,从而使用户能够获得高度复杂的薄膜结构。ULVAC SME-200E有一个真空室,旨在最大限度地减少污染并提供清洁的生产环境。这种溅射模型具有较大的沉积面积,允许材料在大面积上均匀沉积,是沉积大面积薄膜的理想选择。它采用单室设计,在溅射腔和泵腔之间配有闸阀。这不仅减少了污染,而且确保了稳定的溅射压力和清洁的生产环境。SME-200E具有触摸屏功能的用户友好操作。它还具有对沉积过程进行实时监测和分析的功能,从而能够更好地管理和控制沉积过程。它有短短2分钟的快速恢复时间来恢复之前的溅射过程,其真空泵设备设计为可靠高效的操作。总体而言,ULVAC SME-200E是一种可靠、高效的溅射系统,用于沉积高质量、均匀性很高的薄膜。它具有用户友好的操作单元和各种溅射特性,是各种应用中精密薄膜沉积的理想选择。SME-200E设计可靠,操作方便,功能齐全,是将薄膜层溅射到各种基板上的绝佳选择。
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