二手 ULVAC SME-200E #9359649 待售

ULVAC SME-200E
製造商
ULVAC
模型
SME-200E
ID: 9359649
Sputtering system AIN-VO2.
ULVAC SME-200E是一种非常先进的溅射沉积设备,它为屏障/封装和光学涂层等用途提供高质量和均匀的薄膜沉积。它配备了磁性滤波器,确保颗粒和碎屑的消除,以确保最佳的表面条件。该装置采用DC/RF磁控管溅射技术进行薄膜沉积,并配有等离子体源和基板电炬,以实现最大的溅射效率。SME-200E有一个腔室,包括两个SM-II磁性屏蔽和一个圆形石英管。这种设计保证了优质薄膜和均匀分布的底片。ULVAC SME-200E提供了针对最佳溅射条件的自动电源优化、具有报警故障诊断功能的自我诊断系统以及针对过热或过压条件的保护。该机组还配备了用于高级真空水平和压力控制的级真空机,配有真空控制器和手动阀门,以保证溅射沉积的稳定真空环境。此外,SME-200E还配备了一种运动控制工具,可提供快速、精确的步进和重复运动,以及与外部组件配合使用的集成电气连接。ULVAC SME-200E能够沉积所有金属的层,包括钛、铬、铝、镍、铜、钨和金,以及氧化铵锡(ITO)、金刚石样碳(DLC)和Ta2O5。该资产还允许有机分子的温度依赖性蒸发。SME-200E具有各种保护功能和安全系统,以防止损坏设备及其用户。应遵守使用特殊气体的所有必要的安全和健康准则,以确保安全运行。总之,ULVAC SME-200E是一种先进的薄膜沉积溅射模型,为各类基材上的各种材料提供了可靠、均匀的沉积。它的磁滤波器和其他安全功能确保了安全高效的操作,而其运动控制设备、真空系统和自动功率优化有助于加快基板的加工速度。SME-200E具有广泛的应用范围和先进的特点,是薄膜沉积的一个非常值得推荐的工具。
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