二手 ULVAC SME-200E #9392582 待售

ULVAC SME-200E是为先进的工业和研究应用而设计的高性能溅射设备。它具有可旋转、可调的溅射源和基板支架，使用户能够灵活地实现广泛的沉积和表面处理过程。SME-200E能够为任何薄膜厚度提供清洁、均匀和高的沉积速率。ULVAC SME-200E配置了最先进的磁控管溅射源。磁控管溅射源的功率可以在0-1000瓦之间变化，允许广泛的目标和薄膜厚度。基板支架可调，可容纳直径不超过12英寸，厚度不超过0.008至0.125英寸的基板。这允许各种应用,例如平板显示器、LSI和MEMS设备、磁光盘、超导薄膜和光学薄膜。SME-200E通过一系列控制系统提供对溅射过程的高精度控制。内部控制器允许用户控制电极、溅射功率、旋转速度和薄膜厚度。ULVAC SME-200E先进的控制系统也允许沉积不同成分的复杂薄膜。该单元配备了光学高温计，允许用户监控基板支架的温度。SME-200E采用静电屏蔽装置和集成气体分配装置，可在超高真空和大气压力等多种环境中沉积薄膜。另外，ULVAC SME-200E可以连接到外部设备，用于测量室内气体的浓度，如氙气、氧气和氮气。SME-200E的设计旨在确保可靠性和可重复性,使其成为各种生产和研究过程的理想选择。该工具能够提供均匀的薄膜，具有较少的缺陷和较高的屈服率。此外,资产的模块化设计使模型易于扩展、升级和服务,从而确保了更大的灵活性和成本效益。