二手 ULVAC SME-200J #293597222 待售

ULVAC SME-200J是一种顶级溅射设备，设计用于半导体、微型电子、硬盘介质和组件、光电子和光学设备等行业。它是一个自动溅射系统，具有先进的沉积室、高效的锁载室和精确的控制。ULVAC SME 200 J具有有效的矩形形状沉积室，可实现颗粒均匀分布，提高材料沉积精度。因此，零件沉积良好，薄膜厚度一致且可重复。内部还具有较高的清洁度，可最大程度地减少污染，并有助于产生具有精确气相沉积的部件。SME-200J的集成锁载室快速、精确地装卸零件（6 "× 6"或8 "× 8"）。腔室有一个可调的压力，最多可达五个台阶，使零件的装卸能够顺畅精确。此外，密室是气密的，防止污染和不需要的微粒。SME 200 J具有提高流程稳定性的精确控制功能，包括闭环反馈控制和屏幕菜单驱动编程。这也允许在150 Å-3500Å范围内精确控制沉积膜的厚度,精度为1Å。还可以对沉积参数进行自动化和软分割编程，进一步提高可编程的复杂性。此外，ULVAC SME-200J有各种安全装置，确保人员和设备的安全。该机组配有压力传感器、异常操作应急防护装置、加固真空盖、真空前通风门。这提供了高水平的操作员保护，并允许无缝、安全的操作，即使在恶劣的环境中也是如此。总体而言，ULVAC SME 200 J是一款多合一溅射机，旨在满足半导体、微电子、硬盘介质和组件、光电子、光学器件等行业最苛刻的应用。它具有高精度的沉积室和高效的锁载室，具有精确的控制特点，保证了高材料沉积精度，膜厚一致且可重复，操作安全。