二手 ULVAC SME-200J #293609370 待售

ULVAC SME-200J是一种垂直对齐的溅射设备，广泛应用于薄膜涂层应用。它由三个主要部件组成：真空室、旋转溅射头和电源。腔室通常由不锈钢组成，包括泵送口、加工气体和沉积阀。该室还有一个疏散过程，以消除表面污染。旋转的溅射头包含一个或多个阴极，这些阴极由电源供电，在腔室中产生离子。溅射头为薄膜沉积到基板上提供动量。这个系统还包含一个可调节的气体压力调节器和一个过程气体阀，在溅射过程中可以用来调节等离子体大气。该单元由交流电（AC）供电，应用于阴极。当阴极移动时，它们以受控的空间模式产生电场。该电场给予基板电荷，从而导致薄膜沉积到基板上。此过程称为溅射。溅射头内的溅射源还负责确保薄膜均匀沉积在基板上。它将组分材料和载气喷洒到基板上，在基板上组分沉积在偶数层中。溅射源也可以用来改变薄膜的厚度，通过喷洒不同形状和大小的载气。通过控制诸如溅射电压、功率、沉积压力和反应性气流等过程变量，薄膜能够达到特定应用所需的性能。ULVAC SME 200 J机是薄膜涂层应用的可靠且经济高效的解决方桉。其特点使其非常适合各种工业应用，包括汽车、光学和医疗器械涂层。溅射工具的高效设计和控制变量的能力使其成为沉积薄膜制造具有任何应用所需特性的元件的绝佳选择。