二手 ULVAC SME-200J #9266438 待售

ULVAC SME-200J溅射设备是为薄膜沉积中的各种金属化过程而设计的通用系统。它由一个射频电源组成，以产生溅射等离子体，以及一个容纳该过程的腔室。该装置可以处理各种各样的目标和气体，提供广泛的溅射技术。ULVAC SME 200 J溅射室采用平面磁控管，两组磁体垂直于目标排列，允许控制等离子体密度。这台机器还能够旋转磁体，以优化溅射材料的均匀性。该腔室包括两个40厘米的目标，一个目标进给，一个气体进给，和一个真空端口，用于疏散腔室。另外还有一项减少污染风险的特别通风安排。为控制溅射过程，该工具配有可编程接口。运算符可以设置过程参数和操作顺序。可以设置和监测目标电流、压力、气体控制和等离子体条件等参数。这个界面还允许储存配方和监测等离子体测量。SME-200J用均匀涂层处理大面积的基板。它具有紧急停止、温度监视器和安全资产。它与多种类型的基材兼容，包括铝、不锈钢、石英和塑料。溅射模型是液晶屏和太阳能电池生产等薄膜沉积工艺的理想选择。SME 200 J溅射装置是一种功能强大、用途广泛的薄膜沉积装置。ULVAC SME-200J参数可调，溅射面积大，溅射技术广泛，是许多薄膜工艺的有效工具。