二手 ULVAC SME-200J #9357605 待售

ULVAC SME-200J是ULVAC Technologies, Inc制造的溅射设备。它设计用于通用材料溅射和薄膜沉积、粘附、电极制造等应用。ULVAC SME 200 J是一种自备式溅射系统，包括一个底柜和一个目标架单元，并配有一个致动卡盘、多个样本架、电源盖、排气机和溅射源（最多八把溅射枪）。SME-200J的设计使得多个电源具有不同功率设置的同时运行，使其适用于MOS（金属氧化物半导体）沉积、薄膜沉积和电极制造等工艺。沉积率可以根据预期的应用轻松调整。目标材料为铝、铜、金、钛、镍、碳等。根据目标材料的不同，溅射气体会相应地从氙气、氮气、氢气或氧气中选择。提供了一种负载锁定机制,以最大程度地减少在溅射过程之间进行样本切换所需的时间。SME 200 J还设有控制器，允许用户轻松设置和维护溅射参数，包括电流密度、腔室压力、功率和气流。此外,刀具监视器屏幕还会显示过程条件,如温度、压力、腔室状态和总溅射时间。ULVAC SME-200J溅射资产是许多薄膜沉积应用的通用工具。它非常可靠，便于操作和调整工艺参数。该模型还使多个源能够同时运行，确保所需的溅射输出得到快速、安全的实现。