二手 ULVAC SME-200U #9107279 待售

ULVAC SME-200U是一种设计用于薄膜工程的高性能溅射设备。该系统具有两个独立电源,每个电源都有一个集成控制器,可提供高达200 W的组合功率,最大直流电流为400 mA。这允许以各种厚度和沉积速率沉积各种材料，包括贵金属、电介质、陶瓷和半导体材料。ULVAC SME 200 U采用4点磁控管溅射枪配置，实现了卓越的材料利用率和增强的工艺一致性。4点源设计进一步促进了多个目标的整合，以及在同一循环中沉积不同材料层的能力。该装置还拥有一个专门设计的钟形罐室，可在高压和高温下提高性能。该单元设计用于超高真空（UHV）处理，包括粗加工泵、多级前线陷阱、气体净化机、先进控制工具等其他功能。该资产允许广泛应用溅射。双电源使材料能够以各种模式沉积，如短、宽或窄。该模型的灵活性还允许平面和旋转溅射过程，如大型旋转目标表面和金属支架的沉积。此外，随着两种基板的利用，多目标能力允许顶层和底层在一次旋转中同时应用。SME-200U还具有用于反应性溅射的三气操作能力,使用户可以轻松地将这种模式集成到他们的过程中,而无需额外的气体歧管。设备包括内置真空诊断，以及加强安全性的脱泵电弧检测系统。最后，可编程自动化单元为机器增加了可靠性和可重复性，使其成为大容量操作的理想选择。总体而言，SME 200 U为薄膜的沉积提供了一个坚固可靠的溅射平台。它的双电源和灵活的配置允许以更高的精度和可重复性执行各种过程,使其成为各种行业中的宝贵工具。