二手 ULVAC SME-200U #9392580 待售
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ID: 9392580
晶圆大小: 6"
优质的: 2006
Sputtering system, 6"
Power supply: 200 V ±10%, 60 Hz, 36 kVA, 104.1 A, 3-Phase
2006 vintage.
ULVAC SME-200U是Ultra-Low Vacuum Co开发的一种功能强大且可靠的溅射设备。Ltd.(ULVAC).它设计用于广泛的行业,包括电子、汽车、航空航天、装饰涂料和医疗应用。ULVAC SME 200 U可有效地在各种基材上沉积薄而均匀的材料层。它是高度自动化的,有一个机器人控制器,可以精确控制系统及其过程。SME-200U的最大压力范围为200毫升,腔室尺寸为480mm x 620mm,能够处理大型基板。该设备还设计为安全、用户友好,非常适合需要安全可靠的溅射机的应用。SME 200 U由强大的DC/RF电源供电,可确保均匀、持久的溅射沉积。它还提供了磁控管或平面目标的选择,可以用来存放广泛的材料。此外,该工具还提供各种气体流动机制,包括大气压和/或高达10-4 torr的真空。它还包括一个负载/卸载资产,能够快速装载和清洁基板。ULVAC SME-200U配备了若干先进的功能,使其成为市场上最先进的溅射沉积系统之一。例如,它提供了高级诊断和数据记录功能,使用户可以轻松跟踪溅射沉积过程。此外,其先进的射频微波功率控制模型提供了对溅射过程的精确控制,使用户可以微调该过程以获得最佳溅射结果。综上所述,ULVAC SME 200 U是先进、高度自动化和可靠的溅射设备,非常适合广泛的行业。它为用户提供了多种功能,使其成为溅射应用程序的绝佳选择,包括精确的DC/RF电源控制、负载/卸载系统以及复杂的诊断和数据记录单元。它安全、高效、用户友好,非常适合需要可靠溅射机的应用。
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