二手 ULVAC SMR-2110E #9078345 待售
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ULVAC SMR-2110E是一种高性能溅射设备,设计用于各种行业。其灵活的配置和高精度的制造在学术和工业研究方面都提供了卓越的性能和可靠性。SMR-2110E是一种多基板溅射沉积系统,可支撑铝、合金材料、陶瓷电介质和氧化物等多达十种目标材料。利用高频磁控管和快速气流装置,提供了较好的均匀性和较高的沉积速率。它的模块化能力允许简单的维护和维修操作。ULVAC SMR-2110E装有Al 2 O 3/SiO 2目标隔离室,确保最大限度的样品保护。基板支架设计为在溅射过程中提供极好的均匀性和最小的样品漂移。它带有一个直观的编程软件界面,简化了复杂的多色和多层溅射编程过程。该机还具有先进的真空技术,允许低至2.5x10-6 Pa的底压,它配备了离子清洁工具,提供了改进的颗粒去除,并产生了清洁的真空环境。可编程气体注入和先进的数控气体供应系统允许进行多种气体处理。SMR-2110E具有高速沉积选项,可根据目标材料实现高达30微米/秒的薄膜沉积速率。它提供了出色的可重复性和过程控制,从而产生可靠和可重现的结果。使用外部电源或随附的外部输入功能可以微调溅射速率。总体而言,ULVAC SMR-2110E是一项出色的溅射资产,能够服务于许多不同的应用程序。它的高精度制造、先进的真空技术和直观的编程软件允许可靠和精确的性能。可调的溅射速率、各种目标材料和出色的重复性使这种模型具有高度的通用性,适合许多不同的研究要求。
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