二手 ULVAC SPW-030S #9034013 待售

ULVAC SPW-030S是一种用于半导体和其他材料的高精度样品制备的溅射设备。配备平面磁控管溅射源、双平面快门、高真空室。该系统能够处理高低溅射功率的应用，功率范围在5-120 W之间。此外，SPW-030S还配备了先进的溅射源冷却装置，确保了高效的溅射过程和稳定的腔室循环。该机还配备了可靠的自动溅射功率控制和均匀溅射沉积速率。ULVAC SPW-030S的真空室装有陶瓷涡轮泵，可实现高达1 x 10-6 Torr的真空。它还配备了一个原位入射角（AOI）视图端口，允许用户远程准确地监控进程。此外，它还设有一个大型隧道窗口，为过程监控提供了充足的观赏区域。SPW-030S溅射工具可以处理多种材料，包括金、银、铝、钛和硅。它设计为以直流（DC）或射频（RF）电源运行,可用于各种特定于应用程序的过程。此外，该资产还具有气体输送模式，允许用户根据不同的工艺要求调整气体流量和压力。ULVAC SPW-030S溅射设备非常适合半导体等材料的精确样品制备，具有高度的均匀性和效率。其易于读取的控制系统，先进的冷却特性，以及显着的溅射稳定性，确保了一个可靠可靠的过程。总体而言，SPW-030S是一个先进和稳健的溅射单元，提供了对溅射过程的卓越控制。