二手 ULVAC SRH-420 #293821025 待售

ULVAC SRH-420是由半导体行业领先供应商ULVAC设计制造的溅射设备。其主要目的是将金属或其他材料的薄层沉积在基板或半导体晶圆表面。SRH-420在一个系统中具有四个工艺室,提供高性能溅射,以满足多种生产过程的需要。它配备了一个特殊的双源目标驱动单元，允许用户一次溅射两种材料。此功能可加快整体处理速度,并改善胶片的均匀性。为了保证高质量的薄膜，ULVAC SRH-420提供了许多不同类型的溅射过程控制功能。它配备了独一无二的偏置电压控制机，稳定溅射区域，减少粒子的影响。此外，它还具有浮区工艺（亚压溅射），以改善涂层过程中的均匀性和附着力。SRH-420还配有斜面膜，可提高基板的润湿性，提高耐久性。ULVAC SRH-420的最大基板尺寸为8 "X 4"。该工具与多种基材兼容，如玻璃、硅、石英和一些金属。资产使用两个独立的目标，使得在生产过程中可以使用多种材料。其溅射过程可以调整为以不同方式工作，如辉光放电、直流磁控管、顺序溅射。SRH-420提供比其他类似系统更高的吞吐量和更高的处理精度。其独特的高级过程控制功能和功能组合产生了提高产品可靠性的高质量薄膜。该模型还可靠、可靠,并提供出色的人体工程学。设计用于长时间连续运行，减少停机时间，提高产量。总体而言,ULVAC SRH-420是一种可靠的、功能齐全的溅射设备,具有出色的吞吐量和薄膜性能。该系统具有多种工艺控制功能，能够为各种基材生产高质量的薄膜。对于那些需要从溅射系统中获得最高性能的人来说,这是最终的选择。