二手 ULVAC SRH-420 #293830631 待售

ULVAC SRH-420溅射设备是一种通用、高效的工具，用于制造薄膜，特别是用于制造半导体器件。该系统采用五轴机器人运动单元，6英寸直列集成真空室结构。该机包括0-15°的可手动调节角高度调整和溅射目标的精确瞄准。SRH-420的其他好处包括占用空间更小,从而提高吞吐量并改善工作流程。该工具的核心是高性能射频（射频）源，它是一个单频源，运行到4kW，提供一致和统一的输出。射频电源能够通过直接接触以及非接触感应耦合被施加到溅射目标上，这使得溅射介电膜成为可能。此外，该资产能够同时沉积多达四种材料，从而能够生产多层和多组分薄膜。ULVAC SRH-420通过板载图形用户界面操作，允许用户进行各种过程，如抽水、溅射清洗、基板装卸和基板监控。它还能够存储配方以及生成详细的流程报告以及实时流程数据。它与多种工艺气体相容，例如氢、氙、氮、氧等惰性气体。SRH-420溅射模型旨在提供最优质的薄膜，可用于平板显示器、半导体器件、MEMS和其他薄膜技术等多种行业。该设备用途广泛,用户友好,是寻求可靠且经济高效的薄膜沉积解决方桉的公司的理想选择。