二手 ULVAC SRH-420 #9381707 待售

ULVAC SRH-420是一种非常适合广泛应用的单室溅射设备。它在其标准配置中使用现成的元件，如最大RF功率5000瓦的大功率4磁控管射频源和最大基板尺寸16英寸的负载锁室。SRH-420有一个石墨负载锁定室，一个离子源，以加强膜粘附过程，和一个软件为基础的过程控制器，以便于设置和操作。该系统还附带了基础基板的选择，如硅、玻璃、石英和各种陶瓷。这为各种真空溅射应用提供了多功能性和广泛的覆盖范围。ULVAC SRH-420提供了一个高效的溅射过程，粒子密度保持在最佳水平。该装置采用独特的气体控制模块进行精确的过程控制。ULVAC气体模块设计为易于操作，具有准确可靠的控制面板。它提供"即时"气体控制。SRH-420还提供了广泛的溅射靶标，包括铝、钨和钛氮化物。所有这些目标都可以被反应性溅射以进行工艺改进。为确保可靠和一致的结果，ULVAC SRH-420还包括多气体控制机、温度控制模块、真空泵和水冷却器。这提供了足够的过程安全性，即使在波动的操作条件。各种诊断保持闭环过程控制。SRH-420是一种最先进的溅射资产,其独特设计可满足许多行业、应用程序和过程的高需求。总体而言，ULVAC SRH-420溅射模型是一种高效可靠的工具，可以在许多应用中实现最佳的薄膜沉积。它的大功率4磁控管射频源能够提供高达5000瓦的功率,从而改善溅射过程时间。它为高反应性溅射提供了广泛的溅射目标，并具有多种气体控制、温度控制和水冷却模块，以维护过程安全。最后,SRH-420具有基于软件的直观功能和可轻松设置和操作的控制面板。