二手 ULVAC SRH-530 #9409839 待售

ULVAC SRH-530是ULVAC公司设计制造的溅射设备。该系统主要用于薄膜生产应用，采用高真空磁控管溅射工艺。溅射装置由真空室和一套输送和供应薄膜沉积材料的机制组成。真空室设计为在10-2至10-6 Pa的压力下运行，配备旋转泵、涡轮分子泵和涡轮分子增压泵。该机还包括射频电源、射频匹配网络、射频等离子体源、溅射目标和穿梭机构。SRH-530提供了一个控制良好的磁控管溅射膜沉积过程。工具中使用的射频电源为目标提供稳定的直流电压和电流。射频匹配网络和等离子体源产生等离子体溅射目标材料。穿梭机构协助将目标转移到资产中，使目标与基板对齐。该模型还为薄膜沉积过程提供了一个无污染的环境。该设备在控制射频功率水平、气体流量和基板温度等溅射工艺参数方面具有很高的精度。气体流量主要由质量流控制器调节。基板温度可以使用温度控制器控制。该系统还具有强大的数据管理和过程控制软件。ULVAC SRH-530溅射装置非常适合生产高性能薄膜，如防反射涂层、防护涂层、导电层和光学薄膜。该机可用于半导体、汽车、电子、光学等几个行业。SRH-530设计紧凑，操作方便。其性能和准确性使其成为薄膜沉积应用的高质量选择。