二手 ULVAC SRH-820 #293607565 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293607565
Sputtering system
DC High voltage
Gas: Ar
Gas dissociation
Ions hit target
Target backsputter deposited on Wafer
Chambers:
Load lock
Transfer
Heat
Etch
(2) TiW
Vacuum:
Load lock chamber: Dry pump
H2 / Transfer chamber: Dry pump + cryo pump
Etch chamber: Dry pump + turbo pump
TiW / Au Chamber: Dry pump + turbo pump.
ULVAC SRH-820是一种高水平、高性能的溅射设备,专为各种沉积应用而设计。它采用了最新的溅射技术，以提供卓越的涂层均匀性、可重复性和吞吐量。该系统非常适合反应性溅射，能够产生多种类型的膜，包括氧化物、氮化物、非晶态和结晶结构。ULVAC SRH 820利用先进的磁控管溅射装置和独特的阳极构型对基板进行最大程度的离子轰击。这提供了优秀的附着和最小的附着故障。此外，该机还具有包括电流、压力和流量在内的一系列过程变量，以确保最高质量的薄膜形成。SRH-820最显着的特点之一是双目标技术。这允许两个目标被安置在一个单独的房间里，有单独的权力和控制。每个目标都是独立操作和监测的，即使在大型基板上也能提供出色的均匀性。独立的目标可以以不同的速率独立溅射，以达到各种薄膜和厚度要求。SRH 820还具有用于高功率和复杂工艺应用的冷却功能。可以选择闭环冷却工具或风冷资产。闭环冷却模型提供了极佳的散热性能，确保在任何基板上均匀沉积。ULVAC SRH-820被设计为一种开放式架构，适合与一系列兼容的工艺气体一起使用，包括氧气、氮气和氙气。PLC控制的安全逻辑也确保了过程的稳定性，确保了最高质量的沉积，对基材或设备的损坏风险最小。ULVAC SRH 820用途广泛,能够扩展到包括各种目标材料、工艺气体和基板。其强劲的性能和高水平的品质饰面正迅速成为先进涂料行业的首选。
还没有评论