二手 ULVAC SRH-820 #9384114 待售

ULVAC SRH-820是为研究和生产应用而设计的先进溅射设备。该系统利用双目标的直流/射频溅射，能够沉积在平面和曲面上。它最常用于金属、氧化物、氮化物等各种材料的薄膜沉积。该单元包括具有气体净化功能的高真空室、磁控管源、静电基板卡盘和超高频磁控管源。超高频磁控管源允许稳定的溅射性能和较低功率下的高吞吐量。八轴静电基板级能够旋转和倾斜，以便在不同形状的基板上有效溅射。该室还包括用于在曲面上溅射的气体屏蔽湍流射流和用于在大表面上均匀溅射的磁体阵列阵列。腔室还包括传输线和介质滤波器阵列，以减少过程中产生的颗粒和其他杂质的影响。高功率磁控管源也是可调的，可用于短沉积时间。机器还提供温度控制的基板级，温度范围从-30到+250°C，允许各种材料在不同温度下沉积。该工具还包括一个用于自动控制射频功率、目标电流和基板温度的溅射控制器。它还具有多种安全功能,例如安全开关和检测到异常时的警告显示屏。ULVAC SRH 820非常适合各种沉积应用，从小样品到大基板。它能够方便地处理各种材料的薄膜沉积，具有稳定性、均匀性和可靠性。凭借其先进的功能，SRH-820已成为溅射应用的热门选择。