二手 ULVAC SRH-820 #9398866 待售

ULVAC SRH-820是一种用于沉积金属和介电薄膜的溅射设备。它具有直接电阻磁控管溅射特性，能够精确控制溅射速率和薄膜厚度均匀性，从而提高性能和可靠性。ULVAC SRH 820的工作室配备了独特的薄膜形成机制-Dual Now Vacuum Field Control （Denfield）-它结合了静电屏蔽和强大的磁控管源以获得稳定的过程控制和高质量的薄膜。该系统还可以针对各种应用进行定制，具有控制硬件、软件、材料和组件，以优化成品的表面和薄膜结构。SRH-820的设计包括高精度、低能量的射频磁控管源，使大面积溅射沉积具有良好的均匀性。这种设计允许良好的薄膜均匀性和出色的颗粒控制，有助于提高工艺稳定性，提高设备可靠性，降低拥有成本。双真空设计还允许过程的灵活性以及更高的沉积速率。此外,射频磁控管、DC/RF磁控管和所有溅射元件的设计均可容纳高达110kW的高功率,从而实现速度、质量和薄膜结构各异的沉积。SRH 820与最广泛采用的PC控制接口之一,即基于Windows的软件的兼容性,使编程和控制单元变得更加容易。直观的界面还允许用户快速访问以前的数据，并针对各种程序要求快速设置多个应用程序。此外,内置录音机还提供详细的文档供进一步分析。为确保最佳性能和运行,ULVAC SRH-820具有多种安全功能,包括紧急电源开关、压力/真空指示器和自动粒子监视器等。ULVAC SRH 820改进的溅射能力和可选的现场诊断功能提供了比其他系统更多的优势。总之，SRH-820是一种精密的溅射工具，可以精确控制溅射沉积和薄膜的形成。其Dual Now Vacuum Field Control、多个溅射源、广泛的材料兼容性以及内置的安全特性，使其成为高精度、高品质应用的有力选择。