二手 ULVAC SV-4540 #9313930 待售

ULVAC SV-4540溅射设备旨在为基板提供精确的涂层,使基板具有各种形状、尺寸和重量的材料。该系统采用双直流和射频电源、先进的溅射技术和优化的工艺序列，提供了卓越的涂层质量和可靠性。SV-4540是一个高度自动化和多功能的单元,可实现广泛的流程功能。它最多支持四个溅射源、两个泵和一个高温串联温度控制器。它提供了多种高真空工艺选择，包括反应性溅射、磁控管溅射、低压溅射、离子束溅射等等。该机器提供了工艺气体控制的选项，可以进行气体引导沉积等工艺。它利用先进的HMI （Human-Machine Interface）和触摸屏启用功能。该工具还具有高真空互锁系统、原位自动压力控制和广泛的工艺控制器选择。ULVAC SV-4540的特点是其出色的性能和成本效益。它拥有自动化和用户友好的控制资产，可以优化流程并增强流程的可重复性。该溅射模型结合了主动压力控制和快速脉冲直流源，为各种工艺应用提供了均匀性和高重复性。SV-4540溅射设备以高精度工程和可靠操作为后盾。它具有板载部件识别、精确的溅射控制以及容纳各种尺寸和形状的基板的大腔室尺寸。此外，它还具有精确的材料控制功能，使其能够沉积具有高度均匀层厚的材料。总而言之,ULVAC SV-4540溅射系统提供精确的操作、卓越的层覆盖和均匀性,以及经济高效的结果。这个用户友好的单元允许工艺优化和可靠的基板涂层具有高可重复性，使其非常适合广泛的工艺应用。