二手 ULVAC SV-9040-T14 #9055121 待售

ULVAC SV-9040-T14
製造商
ULVAC
模型
SV-9040-T14
ID: 9055121
Sputtering system.
ULVAC SV-9040-T14是一种高性能溅射设备,设计用于生产包括半导体、太阳能电池和平板显示器生产在内的一系列行业的高质量薄膜。它是一个先进的溅射系统,融合了多目标单元能力、高生产率和大基板上薄膜的高均匀性等特点。该机采用由四个14英寸目标组成的多目标设计,可精确控制溅射涂层工艺。目标以C形图样排列,以确保膜在基板上的最佳均匀性。此外,该工具在尺寸达300毫米的基板上提供高达2800 nm/min的高沉积速率。该资产还能够对薄膜进行有效的重新溅射,为保持所需的涂层水平提供了理想的方法。SV-9040-T14结合了坚固的结构和精确的工程设计,提供了可靠的溅射模型,具有出色的位置精度、温度稳定性和过程一致性。该设备配有强大的射频电源系统,可对溅射沉积过程进行最佳控制,并利用可编程基板支架进行精确可靠的溅射沉积。该单元还包括一个自动化操作模块,允许用户自动化诸如溅射蚀刻、退火和溅射沉积等复杂过程。该模块具有高度可定制和用户友好的特点,允许用户轻松修改流程参数以满足其要求。该机进一步配备了高质量的安全特性,保证了安全生产运行。ULVAC SV-9040-T14是高精度溅射高质量薄膜的理想选择,适用于广泛的行业。这种溅射工具能够高速生产高质量的薄膜,具有均匀性、精确度和可靠性。它的自动化能力、多目标设计和坚固的构造使SV-9040-T14成为要求苛刻的溅射应用程序的理想选择。
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