二手 ULVAC ULDIS-200UCP #9266626 待售

ULVAC ULDIS-200UCP是一种高性能的磁控管溅射设备，提供稳定和高质量的溅射过程。它由直径200毫米、外径大、溅射均匀的6目标构型组成。其优化的等离子体产生技术和先进的阴极材料技术，使得低应力和低变形溅射，确保稳定和可靠的重复过程。ULDIS-200UCP具有高精度的三角形目标旋转系统和6轴机器人斩波器。此外，其开放式腔室设计和高效的干式5级过滤装置可以改善沉积均匀性，即使在形状复杂的基板上也是如此。它还有一个高精度的闭环温控机，允许精确的温度控制。ULVAC ULDIS-200UCP还具有多过程支持结构，可以协调控制过程压力范围和真空范围。这使得它成为一个高效的机器溅射应用，如薄膜沉积。此外,它的Auto-Tuning工具可以独立调整每个目标的过程参数,从而实现优化和稳定的溅射性能。此外，这一资产有一个综合的能源回收机制，可以回收产生的溅射粒子并加以再利用，从而减少浪费和降低成本。该型号还具有内置温度警报、压力检测传感器、过载保护等最先进的安全功能。此外,它的高级软件套件允许用户监视、控制和管理流程参数,以自定义溅射流程。总之，ULDIS-200UCP是一种具有独特特点的先进、可靠的溅射设备，具有稳定、高质量的溅射工艺。它的多过程支持结构允许精确和经济高效的溅射，其能量回收机制允许高效的过程。它还具有全面的安全功能和可定制的溅射过程,以满足每个用户的需求。