二手 ULVAC ULDIS-900-CHL #9395811 待售

ULVAC ULDIS-900-CHL是一种革命性的溅射设备，使用户能够实现沉积速率很高的均匀薄膜。这种PVD（物理气相沉积）系统被用于一系列行业，包括半导体、显示器和光学应用。该装置采用高功率直流和"真双射频"溅射技术,效率极高,产量最大。这种双重频率允许更大的沉积能量，从而增加电离，从而有助于改善溅射材料的均匀性和覆盖面。ULDIS-900-CHL主室的设计具有很高的空间均匀性，保证了膜层在整个基板上的一致性。它还包含一个高吞吐量传输机器人与模块同时处理多达三块基板。它还提供了"部件过程控制"选项,允许在整个沉积过程中监控每个批次的一致性,从而消除影片中的差异。ULVAC ULDIS-900-CHL具有涡流预清洁和后清洁,以及内置冷却系统,可帮助控制腔室内的温度,同时保持稳定的压力。这样可以防止腔室内的粒子过度劳累，并允许更快的周转时间。不锈钢基座和腔室也耐腐蚀，具有防静电的表面处理，防止沉积物粘在墙壁上。这进一步促进了高效运行,几乎没有停机时间。ULDIS-900-CHL台机器还具有多种可选组件,包括自动基板尺寸检测功能和针对不同沉积目标的各种蚀刻模块。总体而言,ULVAC ULDIS-900-CHL是一种功能极其强大的PVD溅射工具,可提供具有前所未有沉积速率的最佳均匀薄膜。它提供了多种功能,使用户能够以更高的效率、准确性和安全性执行一系列流程。