二手 ULVAC ULDiS-900CH #9313966 待售

ULVAC ULDiS-900CH是一种用于薄膜高通量溅射沉积的溅射设备.该系统可以存放多种材料，在工艺参数和沉积速率方面给用户很大的自由度。该单元由真空室和电源两个主要部件组成，可实现直流和脉冲直流溅射放电。真空室是一个坚固、水冷的不锈钢结构，带有顶部负载通道，以及一个带有石英或不锈钢壁的矩形真空容器。腔室的标准底压为1 × 10-6 Pa或更低，可在附加抽水的情况下达到10-9 Pa或更低。它还配备了冷藏冷库和涡轮泵，以及一个集成的气体入口和控制。电源机是一种紧凑的高速开关模式发电机，使用高频脉冲进行阴极功率。该电源具有连续直流和脉冲直流溅射放电的能力，能够有效地在目标上均匀沉积薄膜。它还可以提供高达50 W/cm2的功率密度,并具有可调的突发频率。脉冲宽度和输出电压可根据要沉积的材料类型和工艺要求进行调节。ULDiS-900CH材料由可调节静电卡盘和基于激光的观察工具固定到位。此外，该资产具有自动晶片加载/卸载模块，整个模型与一系列用于流程控制、数据采集和配方开发的软件接口兼容。总体而言，ULVAC ULDiS-900CH溅射设备为高通量、大面积的薄膜溅射沉积提供了有效的解决方桉。利用其可调电源系统、可调静电卡盘、基于激光的观察装置和自动晶片装卸模块，提供了一种高效可靠的薄膜沉积方式。