二手 ULVAC Zi-1000 #9128730 待售

ULVAC Zi-1000是为高精度薄膜沉积而设计的最先进的多功能溅射设备。该系统采用超稳定闭环直驱式溅射技术，能够精确控制沉积过程，在大表面上薄膜均匀性极佳。该装置采用先进的直流或PF溅射技术，提供低溅射功率水平，允许沉积低阻力薄膜，产生杂质扩散或粗糙等最小的不良影响。先进的多目标五袋配置，具有最大的灵活性和较高的溅射速率稳定性。利用每个溅射位置的独立电源，可以同步生产不同类型的薄膜；这对多层薄膜特别有益。强大的数字处理器使用户可以轻松控制所有参数，执行统一且可重复的沉积。它还提供晶圆轮廓测量，以确保在一定的公差水平内精确的薄膜沉积。此外，先进的气体控制机提供各种工艺气体的精确溷合物，以确保薄膜沉积的高均匀性。Zi-1000有一个集成的负载锁定工具，可以在遥控或手动控制下引入多个基板，并在沉积过程中保护它们免受氧化。资产配有射频偏置电压发生器，可产生高达5kV的偏置电压，用于各种沉积。ULVAC Zi-1000的卓越功能和灵活性使其成为研发实验室以及工业应用的理想沉积模型。其先进的功能使用户能够快速生产具有出色均匀性、精确度、完整性和附着性能的薄膜。此外，其优越的设计允许快速、准确和可重复的沉积过程在各种各样的基板。