二手 ULVAC Zi-1000 #9157922 待售

ULVAC Zi-1000是一种基于ULVAC专利的先进低真空电弧（ALVA）技术的溅射设备。在较宽的工作压力范围内提供了较好的溅射均匀性和沉积速率控制.该系统由一个主室、一个射频电源、一个ALVA电子枪、三个可旋转的目标、一个护罩和一个真空泵组成。主室装有四个端口，用于三个可旋转目标，一个用于电子枪。射频电源可提供高达1000瓦的功率,并且可以精确控制。ALVA电子枪有电子枪电源和控制板，以及一套线性和圆周运动的电子枪。它旨在减少沉积非均匀性。三个可旋转的目标由钨制成，厚度为5mm，能够处理高达1000 °C的温度。牠们的外径为300毫米。护罩由铝制成，用于沉积过程中含有等离子体，减少污染。真空泵能够实现低工作压力，流量为每分钟500升。该单元包括除尘器、真空阀、压力表等各种配件。Zi-1000可实现最佳的表面光洁度、卓越的附着力和较低的表面粗糙度,以及出色的地形控制。它非常适合涂覆钢、铜和铝等坚硬的导电表面。该机具有厚膜高沉积速率、多目标精确控制地表地形、腐蚀性目标硬真空、精密沉积底物温度低、运行时间长、功率效率高、废弃物排放少等先进特点。总之，ULVAC Zi-1000是一种先进的溅射工具，在涂覆各种表面方面提供优异的性能。