二手 ULVAC Zi-1000 #9219049 待售

ULVAC Zi-1000是一个溅射设备，设计用于沉积薄膜的精度和均匀性。适用于广泛的应用，包括半导体基板、太阳能电池、LED芯片等器件。溅射系统由真空室、溅射目标、视口、真空单元和电源组成。真空室由外焊接金属外壳、内壁和陶瓷底座组成。其设计为空气真空密封，以保持样品上均匀的膜沉积。溅射目标是一个电极，通过施加高压，有效溅射是可能的。检视口允许观察和控制进行中的薄膜沉积。该机配备涡轮分子泵、机械助推泵和涡轮分子阻力泵，提供5E-4 Pa的基本压力和高通量。电源为高频晶体管开关式模块，为溅射提供可调功率，允许使用定制的脉冲参数。Zi-1000适用于金属、氧化物和厚度均匀的化合物在平板基板上的沉积，广泛应用于半导体器件的制造和应用。