二手 ULVAC Zi-1000 #9354446 待售
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ID: 9354446
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8"
Type: Multi chamber
(3) Process module controllers
(5) Chambers
Transfer unit
Chiller
Cables
Monitor rack
AC Power box
UPS
Accessories.
ULVAC Zi-1000是ULVAC Inc.制造的一种溅射设备，设计用于将薄膜沉积在多种材料上。该系统以高频、直流、低压等离子体为基础，使沉积速率在整个沉积过程中保持一致。Zi-1000能够在半导体、电介质、陶瓷和聚合物上沉积薄膜，具有高度的精确度、均匀性和可重复性。溅射装置由交直流电源供电，可提供高达1000W的溅射功率，用于用各种溅射气体溅射目标材料。这种动力用于在反应堆内创造低压等离子体环境，产生可用于溅射多种薄膜材料的电离气体。薄膜沉积的均匀性是通过一种专有的ULVAC"超级聚焦"技术实现的，该技术在反应堆中产生集中且狭窄的均匀等离子体分布，允许目标材料均匀溅射。机器还配备了一系列显示器、传感器和控制器，以确保所有工艺参数都保持在所需的范围内，并且整个刀具在最佳条件下运行。此外,ULVAC Zi-1000还具有多种安全功能,包括超压保护资产和地面故障电路中断器,可防止操作过程中出现任何危险情况。所有这些特性使Zi-1000成为先进薄膜沉积工艺的理想选择。
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