二手 ULVAC Zi-1000 #9379267 待售

ULVAC Zi-1000是一种行业领先的溅射设备,通常用于生产相关目的。它结合了垂直结构节能、高速磁控管和炮台转盘，使其沉积薄膜的速度比常规系统快五倍以上。系统基板面积大，允许各种大小基板一起溅射。这种立式溅射装置具有独特的高纵横比基板支架和直驱机，进一步提高了溅射速度和均匀性，消除了薄膜沉积过程中的阴影需要。此外,Zi-1000还配备了在线实时两级涡轮泵送工具,可提高真空性能。涡轮泵资产有助于真空环境在更短的时间内达到更深的压力，从而使沉积过程能够很快启动。它还确保了更高的泵送速率，以防止基板表面受到污染以及真空泵的使用寿命延长。该型号配备了连接到HMI（人机接口）的多功能控制器的先进智能操作控制。该软件可有效控制基板温度、沉积速率和层厚度。这结合对环境温度、压力、湿度和气体的实时监测，导致了高效可靠的薄膜沉积过程。ULVAC Zi-1000还提供了与多个溅射目标的兼容性和2 x 10-4 Pa的最大真空水平，这就不需要在薄膜沉积前进行污染物或背面清洁。此外,高功率磁控管还提供了与Al、Mo、Ti和Co等多种反应性目标的兼容性。总体而言，Zi-1000溅射设备是一种高效可靠的溅射系统，通常用于生产相关用途。它提供了比传统溅射系统更高的工作效率，其两级涡轮抽油机有助于实现更高的真空。此外，高效、用户友好的智能操作控制为沉积速率和层厚提供了方便的控制。最后，它与多个溅射目标的兼容性以及达到2 x 10-4 Pa真空水平的能力，使其成为市场上最有利的溅射系统之一。