二手 ULVAC Zi-1000 #9399053 待售

ULVAC Zi-1000
製造商
ULVAC
模型
Zi-1000
ID: 9399053
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC Zi-1000是一种高性能溅射设备,旨在促进各种精密材料沉积过程。Zi-1000利用全自动系统中的先进技术,实现了材料层的精确和可重复的沉积。本装置采用U型真空室,配有多种高级关键工艺部件。ULVAC Zi-1000的核心是一种先进的多目标溅射源,设计用于最大程度的均匀性和高速沉积。该机器提供了卓越的精度,能够快速改变不同材料的溅射目标-这样可以在执行各种沉积过程时提供更大的灵活性。该源是一个40kW晶体管化的高频发生器,允许快速沉积速率与高水平的可靠性。Zi-1000通过用户友好的GUI界面实现自动化,该界面具有一系列高级程序员工具和可编程运动选项。它能够控制多达8个轴的运动,并能使用电子端止技术精确地超调。此外,ULVAC Zi-1000提供电源管理程序,操作员可以在最多30个可编程阶段保存流程。Zi-1000上的选项是高度可定制的。有一系列高精度部件,包括可旋转和XY平移级、负载锁、各种气源和高质量的沉积源。它还具有相当多的传感器清单,用于精确测量温度、沉积速率、电离和总沉积。ULVAC Zi-1000是一种功能极其强大且可靠的溅射工具。它提供了无与伦比的准确性和可重复性,并提供了一系列高级工具和可定制的选项。这种精密的资产使用户能够以尽可能最有效和最具成本效益的方式将优质材料轻松有效地存放到基板上。
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