二手 ULVAC Zi-1000N #9156833 待售

ULVAC Zi-1000N溅射设备是一种多功能、高性能的薄膜沉积工具。它能够产生超高真空（UHV）条件，在低于10-6 Torr的压力下运行。该系统具有强大的直流电源，能够高速溅射沉积。它还有一个直径1000毫米/39.37英寸、最大高度600毫米/23.62英寸的大腔室，可以轻松容纳高达4英寸晶圆的大基板。Zi-1000N采用多种配置的大功率直流溅射枪。它设计独特，具有两个弧形单元，可在大面积上提供均匀沉积。溅射枪也被设计成在较低功率参数下最小化电弧。这使得它非常适合需要中低功耗沉积的应用。ULVAC Zi-1000N能够执行多个薄膜沉积过程。它配备了集成加热机，能够支撑高达300摄氏度的温度。该工具还可以进行化学气相沉积（CVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。该资产还利用精密机械臂提高了基板处理的精度和速度。这允许精确的过程控制和可重复的结果。Zi-1000N还包括一个以底板为中心的大直径直流溅射源和一个覆盖整个基板面积的加热器元件。这使得它非常适合同时涂覆多种基板。ULVAC Zi-1000N提供可靠、一致和可重复的薄膜沉积。易于维护和用户友好。溅射模型采用时尚、现代的外观设计，带有透明的腔室和触摸屏面板，能见度清晰，操作简单。Zi-1000N具有先进的溅射沉积能力和易于使用的控制设备，是满足薄膜沉积需求的理想解决方桉。