二手 ULVAC ZX-1000 #293642880 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 293642880
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC ZX-1000是一种用于在基板上沉积薄层材料的溅射设备。它具有一种将材料薄膜应用于目标表面的可靠和可重复的方法,在电子和半导体行业以及研发中都有应用。该系统采用真空沉积溅射技术,这是一种先进的工艺,利用高能直流电溅射源将材料从目标转移到基板上。它是为生产均匀的薄膜而设计的,具有良好的附着力和高度可重现的效果。ULVAC ZX 1000由三个关键组件组成:腔室、源和泵.该室采用圆柱形"湿箱"设计,涂有隔热材料,以减少能量损失。它还包括一个观察过程的玻璃窗。侵蚀的主要来源是一个平面或圆柱形的旋转目标,它悬挂在腔室的屋顶上。电源与直流电源相连,直流电源直接向目标发送强电流,使表面材料汽化并沉积在基板表面上。除了目标和电源外,ZX-1000还利用泵来疏散腔室,又称其溅射离子泵。这是溷合流动干涡泵,连接到腔室底部,设计用于快速撤离腔室并保持特定的真空水平。ZX 1000可与多种基板搭配使用,包括金属、硅和玻璃。它还配备了专用的基板支架,其特点是内置冷却风扇和可调节的垫片,以确保均匀扇区沉积。ULVAC ZX-1000除了具有可靠、简单的溅射装置外,还包括一个集成控制器和用户友好软件,以优化沉积过程的控制。综上所述,ULVAC ZX 1000是一款可靠、可重复、准确的先进溅射机。它能够将薄薄的材料层沉积到各种基板上,其集成软件可以方便操作,同时提供高度可靠和可重复的结果。ZX-1000出色的可重复性保证了高质量的薄膜,厚度均匀,附着力极佳,使其成为一种功能强大、用途广泛的薄膜沉积工具。
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