二手 ULVAC ZX-1000 #293643027 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 293643027
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC ZX-1000是为高性能薄膜沉积而设计的先进溅射设备。它具有坚固的设计,由耐用的不锈钢腔室构成,耐磨耐破,能够在工业环境中长期运行。其主要应用在金属、氧化物、多层结构等薄膜的沉积,在当今电子器件中提供高性能。ULVAC ZX 1000的腔室装有三个安装在保护区的溅射目标。每个目标都是独立控制的,使复杂的薄膜结构得以创建。该系统可以很容易地与计算机进行控制和参数设置。控制单元允许精确控制诸如功率、压力、流量和腔室温度等参数。例如,它能够维持在+50至-100 °C之间的温度。该室还配备了化学池装机,实现了高通量生产。该工具利用了特殊的化学堆积工艺,以便在短时间内覆盖大量的基材。为了进一步提高生产效率,ZX-1000采用了强大的高频电源,输出功率可达5000 W。ZX 1000还配备了众多的安全防护功能,以确保安全。这些安全功能保护用户和设备,例如压力警报和自动关闭资产。此外,主室和溅射目标配备了可靠的接地模型,可防止火花和电弧。总体而言,ULVAC ZX-1000是一种可靠、安全的溅射设备,非常适合工业和研究应用。其耐用的设计、高性能和安全系统使其成为任何薄膜沉积工程的绝佳选择。
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