二手 UNAXIS / BALZERS BPS LLS EVO #9240950 待售

UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVO是设计用于在大面积上沉积薄膜的最先进的溅射设备。该系统的主要部件包括一个可变角度和可变脉冲长度的先进磁控管枪，以及一个带有旋转基板支架的沉积室，以便于均匀沉积，并向各种基板材料发射均匀的能量分布。UNAXIS BPS LLS EVO溅射装置的磁控管枪设计为在大型基板上的任何地方有选择地提供精确和均匀的薄膜沉积，包括矩形（JEDEC）和高达5,000 mm2面积的复杂几何形状。它配备了广泛的参数和特点，可以精确应用高质量的金属和介电膜，如耐火金属、合金、氧化物、氮化物、金刚石状碳和抗蚀剂。此外，该机器能够在有机或无机沉积在晶圆载体上的过程中，有选择地沉积有纹理的结构层，以改善膜层的附着力。BALZERS BPS LLS EVO溅射工具具有在洁净室环境下操作的负载锁资产，还配备了机器人手臂，可以在加工室之间快速交换基板，从而对大量微型部件进行高效批量处理。该型号还提供高达10 nm/min的高沉积速率，使其适用于多种应用，如平板显示器上的薄膜沉积、半导体芯片以及高精度的微电子元件。此外，BPS LLS EVO溅射设备还具有先进的控制和监控系统，以确保可重复的过程和快速的响应时间。其先进的反馈控制单元使操作员能够实时监控沉积参数，在大面积基板上提供一致可靠的薄膜涂层。它的可自定义参数还简化了设置过程,同时减少了用户频繁干预的需要。综上所述，UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVO溅射机是一种先进的薄膜沉积工具。其先进的特性提供了均匀的能量分配的高品质薄膜，而其先进的控制工具则确保了可重复性和快速的响应时间。此外，它的锁载资产和机器人臂还允许对大量部件进行高效的批量处理。因此,UNAXIS BPS LLS EVO溅射模型是需要快速、准确和均匀的薄膜沉积的各种应用的理想选择。