二手 UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9217569 待售

ID: 9217569
Sputtering system.
UNAXIS/BALZERS LLS 502是一种最先进的溅射设备,设计用于光伏、光学和其他基板的薄膜技术。柔性UNAXIS LLS 502具有较高的沉积速率、优异的均匀性和均匀的薄膜附着力,以及快速加热和冷却以及较短的循环时间,以实现最佳的工艺控制。BALZERS LLS 502是各种薄膜均匀沉积的理想选择。它带有一个低压磁控管溅射阴极,适用于介电、金属和其他薄膜的沉积,都在一个溅射系统中。溅射功率可从0-500瓦调节,从而轻松快速高效地达到所需厚度。LLS 502中的腔室最多可用于八个基板持有者,其程序可实现自动化的逐步处理。它还具有高真空泵机和电极型样品操纵器,提供了一个极好的无粘合剂的环境。UNAXIS/BALZERS LLS 502可以升级,并具有其他功能,如样品偏置选项、穿孔室、回填气室和烘烤输出选项。这些组件可以轻松集成到现有机器中,以满足特定的应用要求。UNAXIS LLS 502还具有可靠的安全工具和精确的操作控制,方便用户使用。所有参数都易于设置,计算机模拟的3D视图允许对溅射过程条件进行实时监控,从而确保薄膜均匀且无污染。总之,BALZERS LLS 502是一种先进的多用途溅射资产,非常适合各种应用。其沉积速率高,均匀性好,加热冷却时间快,是薄膜生产研究的理想工具。
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