二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167778 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是为薄膜沉积而设计的强大溅射设备。具体来说，它为包括铝、铬、铜和钛在内的各类金属薄膜提供了先进的沉积能力。UNAXIS LLS EVO是一个模块化系统，可以根据用户的个人需要量身定制。它基于线性磁控管源，包括独特的原位等离子体监测和等离子体控制功能。该机组装有真空室，能够支撑低于8 x 10-7 mbar的底压。它还配备了气体淋浴机，使工具能够在反应性气体环境中运行。BALZERS LLS EVO允许对资产的气压、温度和Pl进行远程操纵，使其能够沉积在各种基板上，包括ITO、PEN和Silicone。该模型还提供了多种阴极源，包括铝、铬等多元素源，以及钛和铜等整体源。LLS EVO设有原位等离子体监测设备，提供沉积参数的实时信息，如基底温度、基压、系统TMS（目标材料供应）和沉积速率。这一特性使得有针对性地优化沉积过程成为可能。该单元还提供了一个功能强大和符合人体工程学的用户界面，直观的图形用户界面以及触摸屏功能。这使用户能够远程控制机器以有效地管理沉积过程。UNAXIS/BALZERS LLS EVO适用于各种不同的薄膜应用，如ITO、PEN和硅胶。它提供了一个极好的基础压力，这有利于薄膜的沉积。此外，该工具还具有先进的冷却技术，有助于保持最佳基板温度。资产还提供了高水平的过程控制，使用户能够有效地管理沉积过程。总而言之，UNAXIS LLS EVO是薄膜沉积的绝佳溅射模型。