二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9210356 待售

UNAXIS / BALZERS LLS EVO
ID: 9210356
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8".
UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一种最先进的溅射设备,设计用于将所需材料的薄膜沉积到基板上。该系统用于研究实验室或生产过程,由两个室组成。每个腔室都包含一个磁控管,该磁控管的工作原理是溅射目标材料,从而形成符合要求且均匀的薄膜。UNAXIS LLS EVO的设计包括一个集成的低频电源,有助于提高沉积速率和减少膜厚度的变化。它还含有一个双离子源,用于在沉积过程中增强对溅射材料的离子轰击。这允许增加离子对基板表面的能量,进而提高膜的附着力和压缩应力。BALZERS LLS EVO具有强大的直流(DC)偏差,专为反应性溅射和高速率溅射等过程而设计。这使用户能够以增加的膜密度、减少的结构缺陷和改善的附着力来沉积功能性薄膜。这一单元配备了压力管理机,以保持低真空水平,也得到众多先进传感器技术的支持。它采用全方位的气密工具进行设计,可确保无污染,并为用户提供最高级别的安全。LLS EVO还具有高度可定制的软件,允许用户设置其沉积参数。此外,资产的用户界面非常方便用户,可以根据具体要求轻松调整以定制处理模型。总体而言,UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一款出色的溅射设备,以其卓越的性能和可靠性而闻名。其强大的功能和最先进的设计使其成为研究实验室和工业生产应用的绝佳选择。
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